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![IMG_5522_edited_edited_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/d1eae7_f58d97c2f2ea4f179402b046dbd00257~mv2.jpg/v1/crop/x_0,y_107,w_980,h_347,q_80,blur_2,enc_auto/d1eae7_f58d97c2f2ea4f179402b046dbd00257~mv2.jpg)
微陣列晶圓掃描儀
(HC-WS01)(R)
HC-WS01(R)
全晶圓掃描——高通量平台
全晶圓影像擷取
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影像解析度:20000 x 20000 (~1.6GB), 10um/pixel
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影像格式:TIFF
![](https://static.wixstatic.com/media/d1eae7_bffc48f7f79348299f4088ac2ff6fce5~mv2.jpg/v1/fill/w_123,h_79,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,blur_2,enc_auto/d1eae7_bffc48f7f79348299f4088ac2ff6fce5~mv2.jpg)
![BioImageAnalyzerFor6inchWafer.png](https://static.wixstatic.com/media/d1eae7_2d23635cb3d24442894416d3326f5c6e~mv2.png/v1/fill/w_54,h_41,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_2,enc_auto/d1eae7_2d23635cb3d24442894416d3326f5c6e~mv2.png)
全晶圓影像分析
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自動對齊與分析
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解析度:2, 5, 10, 40 μm
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雷射激發波長:532 nm 和 635 nm
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雷射功率:
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532 nm:13+/-10% mW
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635 nm:13+/-10% mW
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熒光染料: Cy3 和 Cy5
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晶圓尺寸:4”~12” Si/Glass 晶圓
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掃描區域:整個晶圓
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容量:1 個晶圓/次
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感測器:2 個光電倍增管 (PMT)
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掃描速度:21 分鐘 @10 μm/pixel (8"晶圓)
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靈敏度:<0.2 螢光子/μm²
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動態範圍:10⁴
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訊號格式:TIFF
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操作軟體(BioScan control & BioImage Analyzer)
![WaferImage_03.png](https://static.wixstatic.com/media/d1eae7_465840c6bb52482cb96e3ca566ecbe59~mv2.png/v1/fill/w_56,h_36,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_2,enc_auto/d1eae7_465840c6bb52482cb96e3ca566ecbe59~mv2.png)
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